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Advanced Energy ?的 OR4000E多通道光纖測溫儀(OFT)能夠自動探測測量材料發射率,可用于RTP、HDP-CVD、MOCVD、UV固化和其它各種半導體工藝過程。OR4000E型具有類似OR4000T的高速性能,并且兼具實時輻射率補償的優點。其采用模塊化設計,可快速量身定制,...
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